前言

近年來，人工智能（AI）發(fā)展迅猛，為科研、工作以及日常生活帶來了極大便利。AI的興起離不開半導(dǎo)體行業(yè)的支撐，"AI + 半導(dǎo)體"可謂雙向奔赴：AI為半導(dǎo)體行業(yè)帶來了巨大的算力需求與廣闊的應(yīng)用場景；而半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步，又是AI發(fā)展的物理基礎(chǔ)。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，需要用到多種高分子材料，本文將介紹Shodex GPC色譜柱在半導(dǎo)體高分子材料分析中的應(yīng)用。

色譜柱介紹

Shodex GPC KF-800和KD-800系列是油溶性尺寸排阻色譜柱，出廠溶劑分別是THF和DMF。適用于使用有機(jī)溶劑作為流動相進(jìn)行有機(jī)物和低聚物的分離以及高分子的分子量分布測定。Shodex有一系列排阻限不同的產(chǎn)品，可以根據(jù)樣品的分子量范圍進(jìn)行選擇。

此外，LF-804也是使用THF作為出廠溶劑的色譜柱，對于聚苯乙烯（PS）標(biāo)準(zhǔn)品的線性分析范圍是300-2,000,000。LF系列的特點是采用細(xì)孔分布范圍廣（細(xì)孔多分散型）的填料，在一定范圍內(nèi)可以獲得沒有拐點的高線性標(biāo)準(zhǔn)曲線，能對很寬范圍的分子量進(jìn)行分析。

注意：以下實例中的色譜柱型號僅為實驗所用，并非適用于該類樣品的所有情況。實際分析時，請根據(jù)待測樣品的分子量大小選擇合適型號。

01 聚偏氟乙烯（PVDF）

- 材料信息

聚偏氟乙烯（PVDF）是一種含氟熱塑性塑料，主要用于超純水管道、片材內(nèi)襯、粉末涂層、高純度化學(xué)管道及配件中。

- 樣品信息

進(jìn)樣量：200 μL

樣  品：0.25% PVDF

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

02 聚醚醚酮（PEEK）  

- 材料信息

聚醚醚酮（PEEK）是一種高性能特種工程塑料?，主要用于排氣管道涂層、化學(xué)機(jī)械拋光處理（CMP）保持環(huán)和蝕刻腔體組件、晶圓搬運設(shè)備中。

- 樣品信息

進(jìn)樣量：50 μL

樣  品：兩種PEEK樣品，濃度各0.2 %

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

- - - -注意事項

GPC K-806M已經(jīng)終止銷售，請選擇同類型的GPC KF-806M（出廠儲存溶劑：THF），置換成氯仿或者其他適當(dāng)溶劑后再使用。

03聚酰胺酸（PAA）

- 材料信息

聚酰胺酸一種線性高分子聚合物，也是合成聚酰亞胺（PI）的前驅(qū)體。而聚酰亞胺（PI）是一種十分重要的聚合物新材料，常用于①先進(jìn)封裝材料：作為緩沖涂層/鈍化層、再布線層，②晶圓載具、芯片托盤，③半導(dǎo)體設(shè)備的高溫絕緣件，④光刻與圖案化等。

- 樣品信息

進(jìn)樣量：100 μL

樣  品：聚酰胺酸

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

- 注意事項

聚酰胺酸是既含有正電荷又含有負(fù)電荷的離子型聚合物。如下是使用NMP做流動相和使用添加了LiBr的磷酸做流動相的圖譜比較。添加了LiBr后，能夠抑制離子性相互作用，得到良好的峰型。

04聚碳酸酯（PC）

- 材料信息

聚碳酸酯（PC）是一種無色透明、高抗沖擊性的熱塑性工程塑料?，主要用于①晶圓包裝與運輸載具，②光罩保護(hù)盒，③芯片封裝與測試環(huán)節(jié)的晶片托盤和芯片載帶，④半導(dǎo)體設(shè)備與潔凈室設(shè)施等。

- 樣品信息

樣  品：聚碳酸酯

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

05 聚砜樹脂（PSU）

- 材料信息

聚砜樹脂（PSU）是一種無定形熱塑性工程塑料，主要用于①晶圓載具與芯片托盤，②半導(dǎo)體測試治具與精密零件，③過濾系統(tǒng)，④光刻與封裝材料，⑤密封與墊圈等

- 樣品信息

聚砜樹脂

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

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